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X-熒光石英砂成分光譜分析儀 ，由 X 射線管發出的原級 X 射線激發樣品，樣品所產生的 X 射線熒光光譜直接 進入探測器，不同能量的 X 射線經由多道電路處理，可獲得特征 X 射線熒光光譜 的強度，據其能量及強度對被測樣品中元素進行定性和定量分析。